据天眼查工商登记资料显示，中微半导体设备（武汉）有限公司近期完成注册设立工作。该公司法定代表人为尹志尧，注册资本达 5000 万元人民币，股权结构显示由中微公司全资控股。
从登记经营范围来看，该武汉子公司核心业务为半导体器件专用设备制造、电子专用设备制造两大方向，业务范畴可覆盖刻蚀设备、薄膜沉积设备、配套零组件生产加工、设备运维服务等多项板块，贴合母公司主营的半导体工艺设备赛道。
依托武汉光谷完备的半导体产业链集群优势，当地聚集大量晶圆制造、封测、材料上下游企业，产业配套、人才资源、政策扶持条件优厚。中微落地全资子公司，能够就近对接华中片区晶圆厂客户需求，缩短设备交付周期，同步强化本地设备组装、调试、售后技术服务能力，进一步完善全国化产能与服务网络。
作为国内刻蚀设备龙头企业，中微公司持续扩充国内生产据点，本次武汉子公司落地，是继上海总部、多地生产基地之外又一处重要布局节点。此番布局既有助于分担本部生产压力、扩充设备量产产能，也可依托华中区位辐射中部及西南半导体产业市场，持续巩固国产半导体核心设备的本土化供给能力，加快高端刻蚀设备的国产替代进程。
（校对/李正操）
