华工科技12英寸晶圆激光设备完成客户验证

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近期,华工科技对外公布重磅产业化进展,企业自研打造的12英寸高端晶圆激光加工装备,顺利完成客户验证并正式导入国内半导体行业头部企业。

12英寸晶圆激光加工属于芯片制造流程中的关键工艺环节,广泛用于晶圆切割、表面改性、精密开槽等工序,设备的精度、稳定性直接影响晶圆良品率。长期以来,该类高端工艺设备市场被海外厂商占据,国产化替代进程存在明显缺口。本次产品通过头部客户认证,证明华工科技的设备性能、工艺指标已经匹配量产生产线的使用标准。

华工科技以自主研发为核心,搭配上下游产业链协同合作的模式,持续完善半导体制程设备产品矩阵。除本次落地的激光加工装备之外,公司同步布局多款晶圆处理、检测类设备,覆盖晶圆制造前后道多个关键环节,逐步构建一体化的国产设备供给能力。

第三代半导体、先进硅基晶圆产能持续扩容,国内晶圆厂设备国产化采购比例不断提升,行业催生大量本土设备替换需求。华工科技本次产品打入头部供应链,不仅打开了设备产品的市场出货通道,也为公司半导体装备业务带来稳定的业绩增量。

(校对/李正操)

责编: 李正操
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