2026年5月16日，中微半导体设备（上海）股份有限公司发布关于2022、2024年限制性股票激励计划归属结果暨股份上市的公告。
公司于2026年5月14日完成了2022年限制性股票激励计划第四个归属期、2024年限制性股票激励计划第二个归属期的股份登记工作。本次股票上市类型为股权激励股份，认购方式为网下，上市股数为1,923,121股，上市流通日期为2026年5月20日。
归属人数为1576人，股票来源为公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票。2022年激励计划中，1名其他激励对象本次归属0.0376万股，占已获授予总量的25%；2024年激励计划中，董事、高级管理人员、核心技术人员及其他1564名激励对象本次共归属192.2745万股，占已获授予总量的25%。
本次归属后，公司股本总数由626,917,810股增加至628,840,931股，未导致公司控制权发生变更。根据2026年第一季度报告，归属后公司第一季度基本每股收益将相应摊薄，但本次归属对公司最近一期财务状况和经营成果均不构成重大影响。
